燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的專用設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場(chǎng)及柵線燒結(jié)。
1.適當(dāng)?shù)沫h(huán)境濕度。實(shí)驗(yàn)電爐和控制器的相對(duì)濕度不得超過85%,且不得有導(dǎo)電性的浮塵,爆炸性氣體和腐蝕性刺激物,以免破壞金屬絕緣和電子部件。加熱元器件硅鉬棒、碳化硅棒等應(yīng)放置在干燥的地方,以防止吸收水分并發(fā)生化學(xué)變化。
2.確保升降燒結(jié)爐等熱處理設(shè)備的使用環(huán)境及溫度,以免出現(xiàn)其他事故。
3.一定要確保設(shè)備連接正確。在運(yùn)行狀態(tài)下,一定要檢查實(shí)驗(yàn)電爐和控制器的連接器的連接是否完好。
4.爐體及爐腔內(nèi)部的清理。每次做完實(shí)驗(yàn)后,一定要對(duì)爐腔進(jìn)行清理工作,及時(shí)清除爐中的金屬氧化物,熔渣和碎屑,并應(yīng)小心處理工件,以防止加熱元件的損壞。
5.對(duì)于不符合要求的工件嚴(yán)禁進(jìn)入爐內(nèi)。
6.避免對(duì)加熱元件造成其他損壞。如:堿,堿金屬,硫酸和硼化合物在高溫下可能對(duì)其產(chǎn)生腐蝕作用;而水蒸氣會(huì)對(duì)其有很強(qiáng)的氧化作用,氫氣和含有大量氫氣的氣體會(huì)在高溫下分解碳化硅棒,因此必須嚴(yán)格注意其應(yīng)用。
燒結(jié)爐在結(jié)構(gòu)上應(yīng)滿足以下要求:
(1)具有完善的潤(rùn)滑劑燒除裝置(俗稱脫蠟帶)。
(2)具有氣密性,即能隔絕爐外空氣并保證爐內(nèi)保護(hù)氣氛暢通。
(3)爐內(nèi)的各段溫度可控,燒結(jié)氣氛可調(diào)。
(4)具有快速冷卻裝置,可將燒結(jié)零件快速冷卻到出爐溫度而不會(huì)氧化。